控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC（标配）/PC（可选）

操作系统

Windows 10

触摸屏

10寸

整机规格

尺寸

W1400×D1100×H1400mm

腔体

尺寸

 W450×D400×H450mm

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选）

电极

尺寸

W440×D317mm

层数

1-8层，可选

托架

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选）

层数

1-8层

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC质量流量控制器

2个；Ar、N₂、O₂（可选）

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz，0~1000W

额定功率

整机峰值功率

40KW

机台供电

三相五线式

AC-380V

选购品

干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H₂安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件